微納增減材復合制造超快 3D微加工系統和服務
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? ? ? 多光子聚合 (MPP: Multiphoton-polymerization) 是一種能夠在亞微米分辨率下生產任意形狀聚合物結構的 3D 打印技術。首先,通過在載玻片上滴注與光引發劑混合的聚合物材料,然后預烘焙,制備光致抗蝕劑樣品。然后,使用激光直寫技術來制造 3D 微結構。因此,由于一種稱為光聚合的過程,聚合物在受到激光輻射影響的下落處硬化。最后,將微結構浸入有機溶劑中以顯影未聚合的光致抗蝕劑。? ? ? MPP 通常用于微電子器件的制造,因為它允許創建非常小的以及高精度的詳細結構此外,由于光線高度聚焦,因此可用于創建復雜的 3D 形狀。
三維螺旋 (3D GYROID) 結構
? ? ? 多光子聚合 (MPP) 是一種適合于超材料制備的技術。超材料是一種復合材料,其物理特性與所用材料的物理性能不同。? ? ? 三維螺旋結構在機械上是剛性的,但很輕。該結構是通過使用加寬物鏡工作距離 (WOW) 方法制造的,利用該方法可以增加高數值孔徑物鏡的工作距離。該結構的總體尺寸-為1mmx1mmx1mm。結構高度遠大于所用物鏡的工作距離(0.19 mm)。? ? ? 這種微制造技術使制造中尺度結構成為可能,這些結構的總尺寸比其最基本特征大幾個數量級,
三維鏈狀結構
纖維端面的三維結構
PRISM FOR ELIPSOMETRY
三維螺旋結構
3D 支架
3D 介觀彈簧
FRESNELLENS-菲涅耳透鏡
陶瓷結構
微針
? ? ? 選擇性激光蝕刻 (Selectivelaser etching) 是一種激光減材制造技術,可以以微米級精度制造復雜形狀的三維玻璃零件。 該技術包括兩個制造步驟:飛秒激光照射和隨后的化學蝕刻。 緊密聚焦的飛秒激光束在激光束的焦點內引起透明材料的改性。通過在空間上移動激光焦點該結構以逐點的方式寫入,直到襯底表面。然后,將樣品浸入蝕刻劑溶液中,蝕刻出激光改性的區域。 SLE 通常用于制造電子設備和其他精密部件,因為它允許以在蝕刻圖案中獲得更高水平的精度和細節。此外由于激光束高度聚焦,因此可以用于蝕刻非常小且復雜的設計。
日內瓦齒輪 (GENEVA GEAR)
? ? ? 日內瓦齒輪是一種任意形狀的微機械部件,是產生間歇性旋轉運動常用的裝置之一。包含兩個相互嚙合的元件。通過將一個齒輪旋轉 360°,另一個齒輪以固定的 90°增量移動。? ? ? 使用 SLE 技術,這些機構可以由單片玻璃制成,而不需要組裝步驟。由于無需組裝該結構可以小規模生產(低至數百微米)而無需復雜的微操作。此外,通過將一個小磁體連接到機構上并將其放置在旋轉磁體上,可以實現結構的平穩連續運動。這是由于結構的不同運動部件之間的間隙非常小 (<10 μm) 和很好的表面粗糙度 (~200 nm RMS) ,更大限度地減少了過度摩擦。
LAB-ON-CHIP DEVICE
? ? ? 復合制造方法能夠通過激光燒蝕從熔融二氧化硅中快速生產通道,而多光子聚合用于在通道內集成任意幾何形狀的精細網格 3D 過濾器。為了證明這種方法的有效性,生產了一種用于新一代藥物開發和生產的微流體大分子分離器原型。它被設計用于在混合溶液中分離低分子量和高分子量物質。這些器件所需的聚合物和玻璃部件在制造過程中自由選擇和結合,為器件帶來了新的功能水平,并簡化了制造工作流程。由于多光子聚合的多功能性,可以以很高的分辨率實現各種復雜幾何形狀的過濾器。例如,該過濾器的孔隙為 500 nm 寬。
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